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產品簡介
四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號：HARTS-8HARTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
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2024-05-102025-11-272025-11-272025-11-19| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號：HARTS-8
HARTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了新電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數快、度、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
四探針檢測儀 術 標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)； 電導率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； |
恒源 | 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；性、量程自動顯示； |
四探針探頭基本標 | 間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機測量大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
計算機通訊接口 | 并口，速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量 能，自動選擇適合樣品測試電量程； |
標準使用環境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強光直射； |
配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、
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